無塵室建筑裝飾和通風工程施工要點

科學技術的發展，電子、醫藥、生化等行業的工藝技術突飛猛進，產品日新月異。如大規模集成電路已從微米發展到納米級并批量生產，受控粒子尺寸要求小于0.02μm，生產工藝對無塵室的環境要求更嚴格。為此，有關部門經廣泛調研，收集整理國內外質量標準資料，在總結無塵室施工和驗收的經驗教訓基礎上，與時俱進對《潔凈室施工及驗收規范》JGJ71-90進行較大修改，提升其標準，與國際接軌，出臺切實可行的新版《潔凈室施工及驗收規范》GB50591-2010自2010年2月1日起實施（以下稱新規范）。關于本文，前面潔凈室施工方案也介紹得很詳細了。http://www.iwuchen.com 工業凈化www.hihpy.com

近年潔凈工程較多，未按無塵室的要求施工，達不到質量要求而返工的案例不少。所以很有必要認真學習新規范，按新規范要求施工及驗收，以提高無塵室的建造水平。篇幅有限，本文僅簡述保證無塵室環境達標的建筑裝飾、通風工程施工中常見的問題、經驗教訓和注意事項。

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1 無塵室的建筑結構工程

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無塵室的建筑結構設計和施工質量關系到無塵室裝飾、安裝和使用，因此無塵室建筑施工前應編制施工方案，并與無塵室其他專業施工協調配合。常見的問題是地面（以下均為底層）基礎回填密實度、防潮層不到位，地面開裂等。

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1.1 確保回填土的密實度 水凈化www.hihpy.com

有的工程工期緊機械回填土未分層夯實，致使設備安裝時地坪下沉開裂。因此對回填土質量要嚴格控制，回填土施工時要進行旁站監理，確保回填土的密實度達到設計和規范要求。 工業凈化www.hihpy.com

1.2 新規范要求防水薄膜厚度不應小于1mm www.hihpy.com

行標與設計地面做法：素土夯實，夯實系數≥0.9。墊層為150厚碎石、卵石或3：7灰土，夯實后鋪設0.6 mm厚聚氯乙烯防水薄膜防潮，實踐證明0.6 mm厚防水薄膜容易破損。新規范要求灰土夯實后應鋪設≥1mm防水薄膜，接頭處搭接50mm并用膠帶粘牢，然后鋪20厚1：3水泥砂漿保護層。如設計圖仍是0.6 mm厚防水薄膜，要求設計變更。

1.3 地面應合理配置鋼筋網防裂

無塵室地面宜配置鋼筋網防裂，基層混凝土強度等級≥C25，混凝土厚度≥150mm。《無塵室建筑結構》圖集選用200厚C30細石混凝土內配￠8@150雙向鋼筋，隨打隨抹平，強度達標后表面磨平。PVC地面或環氧地面施工一般不是一家，二次施工往往會為地面平整度、面層強度、空鼓、起砂等扯皮，所以前期建筑結構施工把好質量關，對無塵室的施工質量十分重要。

2 無塵室地面施工

無塵室的裝飾材料應滿足隔熱、隔聲、防振、防蟲、防腐、防火、防靜電等要求外，還應保證無塵室的氣密性和裝飾表面不產塵、不吸塵、不積灰，并應易清洗，地面必須采用耐腐蝕、耐磨和抗靜電材料。無塵室地面以粘貼PVC地板和涂布環氧材料為多，現澆水磨石地面已很少選用。粘貼和涂布地面正式施工前應做小面積樣板，使粘結強度、耐磨性、表面電阻和觀感等技術指標符合要求，才可正式施工，以防返工造成損失。

無塵室地面裝飾選用表 表1

序號	名 稱	耐火等級	適用潔凈等級
1	環氧自流平面層	B1	N1～N9
2	環氧砂漿面層	B1	N7～N9
3	聚脂砂漿面層	B1	N7～N9
4	雙酚A型不飽和聚脂面層	B1	N6～M9
5	無溶劑聚氨脂面層	B1	N1～N9
6	乙烯基酯砂漿面層	B1	N6～N9
7	PVC地面	B2	N1～N9
8	架空活動地面	A、B1	N1～N9

2.1粘貼地面施工（以防靜電PVC地板為例）

（1）粘貼、涂布地面施工前應用含水率測試儀器(CCM)對基礎地面進行現場測試，其含水率應在2%～4%，當含水率在4%～7%之間，要用雙份膠粘地面材料。對含水率＞7%的基礎地面，必須采取加熱通風等干燥處理。含水率大又未干燥處理的地面“掄工期”施工，其結果是地面空鼓、脫皮而返工的教訓一定要吸取！

現場也可用塑料薄膜法（ASTM4263）檢測，用450 mm×450mm塑料薄膜平鋪在混凝土表面上，用膠帶紙密封四周邊16h后，塑料薄膜下出現水珠或混凝土表面變黑，說明混凝土過濕不宜粘貼、涂布；無水珠或濕氣存在可施工。

（2）無塵室地面粘貼的防靜電PVC板材或卷材，厚度一般選用2～3mm，厚度允許偏差＋0.18mm～－0.15mm。有的“進口”PVC卷材是冒牌貨，進口材料的原產地證明、檢測報告和報關單等復印件易造假，仔細核對矛盾不少。要與原件核查報關單編號、日期、簽章、騎縫章、到岸港口、運輸方式、批號是否一致。

（3）防靜電PVC地板施工應采用非水溶性導電膠粘貼，非水溶性導電膠中炭黑與膠水的配合比為1：100，膠的電阻值應小于貼面板的表面電阻值（105～1010Ω），粘接強度＞3×106N/m2（3MPa）。強力膠、環氧樹脂等非水溶性膠氣味大，有的施工隊用水基丙烯酸脂類粘膠劑（俗稱白膠、木工膠）。丙烯酸等水溶性粘膠劑雖然施工方便，氣味小也環保，但其粘接強度僅0.5MPa左右，與規范要求的相差甚遠。若水溶性粘膠劑的粘接強度達到要求，PVC地板粘貼時能否使用，值得有關部門探討。

（4）導電銅箔厚度不應小于0.05mm，寬度宜為25mm，是為了有效地防止靜電積聚。有的導電銅箔厚度僅0.03mm，寬度僅10mm，還說是新標準，保證沒有問題等等。所以對進場的材料要把好關，不要被忽悠。導電銅箔網間距按設計要求(一般為3000×3000mm)，面積在100 m2以上時接地端子不小于2個，每增加100 m2，應增設接地端子2個。

（5）無塵室PVC地板施工環境溫度不應低于10℃，相對濕度不大于80%。鋪貼時一定要壓平，不能殘留空氣，地板粘貼4小時后才可進行接縫焊接。

2.2 涂布地面施工(以防靜電環氧自流平為例)

無塵室涂布地面以環氧自流平和環氧砂漿地面為多，涂布地面的基礎地面含水率≤7%才可施工。

（1）基層表面處理 涂布地面的基層表面應用噴砂或無塵電磨機清除地表灰砂、雜質，磨平后用吸塵器吸除灰砂。對凹陷、空洞地面應用環氧砂漿或環氧膩子填補后，才可進行底涂施工。不少“游擊隊”分包商沒有上述施工機械，甚至對地面未吹掃、填補就進行底涂，其施工質量可想而知。所以要選擇有資質的專業防腐施工隊，以保證無塵室涂布質量。

（2）按2.1 (4)要求鋪設導電銅箔并接地。

（3）中涂施工 將環氧色漿、固化劑與適量料徑的石英砂、導電粉充分攪拌（有時要熟化），以增強地面的耐磨及平整度。環氧拌料用鋸齒鏝刀鏝涂，然后用釘子輥來回輥壓，以排出膜內空氣，應在1小時內用完。（選用優質環氧樹脂加固化劑混合均勻，靜置幾分鐘后基本無氣泡）。加砂量大一些，可采用抹光機抹光。

（4）面涂施工 在中涂層實干2～3天(20℃)固化后，刮涂填平、打磨、吸塵清潔后，面層可用鏝涂、刷涂或噴涂，使其自行流平即可。防靜電環氧自流平厚度2～3 mm，（防靜電環氧砂漿厚度4～5 mm），施工后要養護7天完全固化。

（5）新規范要求涂布施工環境不宜低于20℃，相對濕度應低于85%，這是為了保證涂布質量。高溫時環氧涂料兩組份反應快，有時來不及流平就固化；5℃以下環氧涂料基本上不固化反應，粘度大難以施工。

環氧地面技術指標 表2

序號	項目參數	環氧自流平	環氧砂漿
1	干燥時間h—表干	≤6	≤4
2	干燥時間h—實干	≥48	≥48
3	粘結強度（與水泥）MPa	≥2	≥2
4	抗壓強度MPa	≥85	≥70
5	拉伸強度MPa	≥9	≥7
6	彎曲強度MPa	≥7	≥6
7	邵氏硬度HD	≥80	≥80
8	流平性	≥5 min	/
9	耐磨性750g/500r失重g	≤0.02	≤0.03
10	耐H2SO4濃度為	20%30天允許微變色	10%7天無異常
11	耐NaOH濃度為	25%30天無異常	10%7天無異常
12	耐NaCl濃度為	10%30天無異常	10%7天無異常

注：上述技術指標供參考，各生產廠略有差異，鉛筆硬度≥2H。

近年來國內外都在研究、開發、生產多類水性環氧樹脂涂料，據報導基層無積水或無明顯滲漏就可施工，是涂料的發展方向。性價比更好的第三代水性環氧樹脂涂料不含VOC（揮發性有機化合物Volatile Organic Compound）和HAP（有害空氣污染物Hazardous Air Pollutants），符合環保要求。新材料要經實用檢驗，品質優良必將推廣。

3 無塵室墻面和吊頂施工

無塵室的墻面和吊頂一般用金屬夾心板適用于N1～N9級無塵室，涂料內墻面適用于N7～N9級無塵室或無塵室基墻和吊頂上部墻面。施工、監理人員對金屬夾心板和涂料的材質、規格、型號、種類（吊頂板與壁板、手工板與機制板等）質量標準要心中有數，對進場材料要認真驗收。

3.1金屬夾心板的材質

金屬夾心板鋼板名義厚度不應小于0.5 mm（實測厚度必須≥0.47mm）。夾心充填物應使用難燃或不燃材料，不得使用有機材料。PU（聚氨脂泡沫塑料）夾心板填料是有機材料，燃燒時氣體有毒，所以無塵室不得使用PU金屬夾心板，應使用填充料為巖棉等不燃材料的夾心板。

3.2金屬夾心壁板的規格

有的施工單位為降低成本，用類似活動房隔墻的機制PU金屬夾心壁板安裝無塵室。有的機制板鋼板僅0.35 mm厚，四邊用薄鋼板作凹凸槽企口相嵌連接，非標壁板凹凸槽相嵌后中間有約15mm寬無填料，此類壁板的面板內未貼絕熱層，其抗壓、抗彎曲強度及密封保溫性能達不到要求。無塵室的金屬夾心壁板四邊應嵌入1.0mm厚鍍鋅凹凸槽鋼，板厚選用50mm較多，其規格按設計要求，詳見《潔凈廠房建筑結構》圖集。

3.3金屬夾心吊頂板

無塵室吊頂上一般都有管線，要上人安裝維修，因此無塵室金屬夾心吊頂板多為手工制作板。在金屬上面板下貼一層5 mm厚玻鎂板以增加強度并有絕熱保溫作用，板四周嵌入1 mm厚鍍鋅凹型槽鋼。吊頂時中字鋁?骨插入兩塊板接縫的凹槽內并必須貫通，不允許圖施工方便將中字鋁鋸斷一段段插入凹槽內，以保證其強度和密封。金屬夾心壁板不能當上人吊頂板使用，因其承載重量不足，極易造成上人后頂板變形壓蹋事故。

3.4 金屬夾心板施工注意事項

（1）金屬夾心板安裝過程中不得剝離金屬夾心板表面保護膜，而應在安裝完工

后將其剝離，以保護面板。有的工人為省事，金屬夾心板安裝前就將保護膜撕掉，

應堅決制止。

（2）正壓無塵室應在金屬夾心板正壓面用中性密封膠密封縫隙，當負壓無塵室

的負壓面靠墻不能在負壓面密封時，應在縫隙內嵌密封條擠緊，并應在室內面涂

密封膠，這是新規范按施工現場實踐經驗作的規定。

（3）無塵室地面和墻面的夾角（小圓角）的曲率半徑R不小于30mm是為了防止積灰和便于清潔，無塵室內墻面陽角易受碰撞受磨掉灰，一般做成圓角。新規范對吊頂和墻面的夾角未要求做小圓角，但無塵室地面和墻面的夾角必須要做小圓角，內墻面陽角也要做圓角。

（4）無塵室調試、運行時常會發現洞孔漏風，門窗、箱、柜、風口等大洞由專業裝飾隊基本能按要求開洞、封堵。但水電、消防、監控、特氣管道及二次配管往往不按要求開孔，不加專用密封套管、墊片等配件，只在洞口打膠，若密封膠質量差，一年半載就可能老化開裂而漏風。所以壁板上開小孔洞最好請裝飾工配合以保證洞口的密封質量。

（5）箱柜、開關、插座內線管口往往未加護口、未打膠封堵、驗收檢查時要注

意這個易被遺忘的漏氣點，并要整改到位。

4 無塵室的通風空調工程

某通風工程未按潔凈風管的要求制作、安裝，為了保證工程質量業主又請專業監理工程師進行監理。此時過半不符合潔凈要求的風管已安裝，整改十分困難。所以安裝工程監理必須與施工同步進場，審核施工圖紙和施工方案，對施工隊進行潔凈風管制作安裝的技術交底，做好事前質量控制。

4.1 風管制作場地臟亂差

無塵室風管制作應有清潔、門窗能封閉、用橡膠板等軟板鋪地的加工場地，工人應穿干凈工作服和軟性工作鞋。但有的風管加工棚四面通風，灰砂滿地，風管內外泥灰腳印不擦洗就吊裝，“垃圾場”上怎么能造出潔凈風管？必須糾正！

4.2 不應在潔凈風管內設加固框及筋

規范要求不應在潔凈風管內設加固框及加固筋，為保證潔凈度，潔凈風管應在風管外壁用角鋼、扁鋼、加固筋等形式進行加固，并不得使用空心鉚釘鉚固（可以用端頭密封型）。我們在檢查多處無塵室風管竟是用普通風管的加固方法：在風管壁上壓加固楞筋，用螺桿（通絲）在風管內做加固筋，此法“省工減料”但楞筋和螺桿上易積灰，這是潔凈風管所不允許的。

4.3 不應從總管上開口接支管

潔凈總風管上的支管應通過放樣制作三通或四通整體結構，轉接處應為圓弧

或斜角過渡。若為施工方便在總管上開口接支管（俗稱馬鞍口連接），無圓弧過渡不僅風阻大影響氣流組織，而且支管翻邊用鉚釘與總管固定，接口處密封差極易漏風。現場確要在總管上開口，應用“支管暗咬口”（施工困難，密封性及強度好）或“插片式咬口”（密封性及強度差，易脫開）形式，總、支管連接處要有斜角過渡，前后要增加U形支架，以保證強度且不易脫開。(參考：無塵車間http://www.iwuchen.com/)

4.4要檢查風管配件的質量

薄鋼板法蘭連接矩形風管能機械化制作，性價較好，在5級以下潔凈工程中普遍應用，已取代角鋼法蘭風管。現場對風管的板厚、尺寸都會查驗，而對薄鋼板法蘭連接矩形風管的法蘭角連接件和彈簧夾（鍍鋅鋼板沖件）忽視檢查。法蘭角連接件的厚度應1.0～1.2mm，現場檢查有的僅0.8mm厚，彈簧夾長度只有100 mm（標準長度為150mm），彈簧夾間距往往大于150 mm（潔凈風管彈簧夾間距應為100 mm）。配件不合格其夾緊強度達不到要求，法蘭的密封難以保證。

4.4 法蘭密封墊薄而質差接口有縫或重疊

潔凈風管法蘭密封墊應選用閉孔海綿橡膠、密封膠帶或其他閉孔彈性的阻燃材料，厚度為5～8mm；不得使用乳膠海綿、泡沫塑料、厚紙板等。現場可浸水燃燒試驗，凡吸水、不阻燃材料為不合格。有的密封墊厚度不足3mm，且密封墊接頭簡單對接，壓縮時位移出現縫隙，造成漏風。所以接頭應采用階梯形或企口形并避開螺栓孔，涂膠粘在法蘭上，不得拉伸，不得隆起，密封墊內側應與風管內壁齊平。切記涂膠粘密封墊后風管法蘭下要墊干凈木條，以防粘上地面灰砂。

4.6 風管吊架橫擔規格選用偏小

有的分包單位為降低成本風管吊架橫擔規格選用偏小，且多為非標鋼材，如φ10的吊桿直徑只有φ9，角鋼總是窄、薄一點。《通風管道技術規程》JGJ141對風管吊架橫擔材料比03K132等圖集要求偏低，而且未分風管有無保溫。為確保質量，要以《風管支吊架》圖集03K132上的選用材料標準進行施工和驗收。

金屬矩形水平風管吊架橫擔（梁）最小規格表mm 表3

風管邊長b	吊桿直徑	橫擔規格（JGJ141）		橫梁規格（03K132）
		角鋼	槽鋼	無保溫	保溫
b≤400	φ8	L25×3	[40×20×1.5	L36×3	L45×3
400＜b≤1250	φ8	L30×3	[40×40×2.0	L56×4	L70×5
1250＜b≤2000	φ10	L40×3	[40×40×2.5 [60×40×2.0	[5	[6.3
2000＜b≤2500	φ10	L50×3	---	[6.3	[8
b＞2500	按設計確定

4.7吊桿在橫擔下只有一個螺母固定

這是風管安裝中的通病，一個螺母易松動，尤其是非標準件的吊桿和螺母配合不緊，送風振動后，時有吊桿螺母松動脫落的事故發生。為保證安全牢固，圖集要求吊桿在橫擔上要擰一個螺母，橫擔下必須要穿一個墊片再擰二個螺母固定，驗收時要檢查落實到位。

4.8風管不做漏風檢測

新規范要求1～5級潔凈度環境的風管應全部漏風檢測，6～9級潔凈度環境的風管應對30%的風管并不少于一個系統進行漏風檢測（原行標對6級以下只做漏光法檢查）。檢測結果應同時符合單位風管展開面積漏風量[m3/(h.m2)]和系統允許漏風率ε（漏風量/設計風量）,1～5級潔凈度的單向流ε≤1%，非單向流ε≤2%，這是出于嚴格的節能要求而新增“單位風管展開面積漏風量”的指標。風管和空調機組做漏風檢測要儀器設備比較麻煩，施工方要求進行漏光試驗不想做漏風檢測。因為不漏光的風管不一定不漏風，所以潔凈風管必須漏光檢測。現場可在地面上組裝一段（組）風管進行漏風量檢測，合格一段吊裝一段，這是切實可行的施工方法。

5 結語

無塵室的建筑裝飾、通風系統是無塵室環境達標的基礎，風、水、電、氣、消防、自控、防靜電和屏蔽等系統則是無塵室安全運行和質量的保證。無塵室的設計、施工、設備安裝、調試驗收每個環節按新規范和相關標準的要求實施，才能建成高標準節能低耗的無塵室，才能提高其成品率，制造出高科技產品。

參考文獻：

[1]《潔凈室施工及驗收規范》GB50591-2010

[2]《電子工業潔凈廠房設計規范》GB50427-2008

[3]《通風與空調工程施工質量驗收規范》GB50243-2002

[4]《通風管道技術規程》JG J141-2004

[5]《潔凈廠房建筑結構》圖集08J 907

[6]《薄鋼板法蘭風管制作與安裝》圖集07K133

[7]《風管支吊架》圖集03K132

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